隨著計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展,硬磁盤(pán)存儲(chǔ)密度越來(lái)越高,這要求磁頭與磁盤(pán)的間隙變小,磁頭與磁盤(pán)在使用中因頻繁接觸、碰撞而產(chǎn)生磨損。為了保護(hù)磁性介質(zhì),要求在磁盤(pán)上沉積一層既耐磨又足夠薄且不致于影響其存儲(chǔ)密度的膜層。用RF-PCVD方法在硬磁盤(pán)上沉積了40nm的DLC薄膜,發(fā)現(xiàn)有Si 過(guò)渡層的膜層與基體結(jié)合強(qiáng)度高,具有良好的保護(hù)效果,且對(duì)硬磁盤(pán)的電磁特性無(wú)不良影響。

    DLC薄膜在電子學(xué)上也很有應(yīng)用前景。采用DLC薄膜作為絕緣層的MIS結(jié)構(gòu)可用于電子領(lǐng)域的許多方面,可用于反應(yīng)速度快的光敏傳感器,也可用于極敏感的電容傳感器。另外外,DLC薄膜在電學(xué)上也是場(chǎng)發(fā)射平面顯示器冷陰極的極好材料。金雙內(nèi)國(guó)

    (2)DLC薄膜在光學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用

    在光學(xué)方面,DLC薄膜可用作增透保護(hù)膜。Ce是在8~12um范圍內(nèi)通用的窗口和透鏡材料,但其容易被劃傷和被海水浸蝕。在Ge表面鍍一層DLC薄膜,可提高其紅外透射率和耐腐蝕性能。但是,一般 DLC薄膜在可見(jiàn)光范圍內(nèi)的透光性較差,限制了它在光電器件上的應(yīng)用。此外,研究類金剛石薄膜在激光作用下的損傷及損傷機(jī)制表明,KC1基片上沉積DLC薄膜后,連續(xù)CO,激光損傷閩值可高達(dá)7.4kW/cm’。木林據(jù)寧簡(jiǎn)那隆設(shè)海明

    (3)DLC薄膜在醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用

    DLC薄膜在醫(yī)學(xué)上可作為人工心臟瓣膜,而且具有相當(dāng)好的生物相容性。目前,美國(guó)ART公司利用 DLC 薄膜表面能小、不潤(rùn)濕等特點(diǎn),通過(guò)摻人 Si0,網(wǎng)狀物并摻人過(guò)渡金屬元素以調(diào)節(jié)其導(dǎo)電性,生產(chǎn)出不粘肉的高頻手術(shù)刀,明顯改善了醫(yī)務(wù)人員的工作條件。此外,很多人工關(guān)節(jié)由聚乙烯的凹槽和金屬與合金(鈦合金、不銹鋼等)的凸球組成。關(guān)節(jié)的轉(zhuǎn)動(dòng)部分接觸界面會(huì)因長(zhǎng)期摩擦而產(chǎn)生磨屑,與肌肉結(jié)合會(huì)使肌肉變質(zhì)、壞死。DLC薄膜無(wú)毒、不受液體浸蝕,鍍?cè)谌薣關(guān)節(jié)轉(zhuǎn)動(dòng)部位上的 DLC薄膜不會(huì)因摩擦而產(chǎn)生磨屑,更不會(huì)與肌肉產(chǎn)生反應(yīng),可大幅度延長(zhǎng)人工關(guān)節(jié)的使用壽命。

——本文由光學(xué)鍍膜設(shè)備廠家廣東振華發(fā)布