鍍膜線采用模塊化結(jié)構(gòu),可根據(jù)工藝及效率需求增加腔室,可雙面鍍膜,靈活方便;配置離子清洗系統(tǒng)、快速加熱系統(tǒng)以及直流磁控濺射系統(tǒng),可高效沉積單質(zhì)金屬涂層;設(shè)備節(jié)拍快,裝夾方便,效率高。
鍍膜線配備離子清洗與高溫烘烤系統(tǒng),沉積的膜層附著力更好;旋轉(zhuǎn)靶小角度濺射,有利小孔徑內(nèi)表面沉積膜層;設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小;真空系統(tǒng)配置分子泵抽氣,能耗低;料架自動(dòng)回送,節(jié)省人力;工藝參數(shù)可追溯,生產(chǎn)過程實(shí)現(xiàn)全程監(jiān)控,方便追蹤.
生產(chǎn)不良;鍍膜線自動(dòng)化程度高,配合機(jī)械手使用可銜接上下工序,降低人工成本;在電容制程中可取代銀漿印刷,效率更高,成本更低。
適用于Ti、Cu 、Al、Cr、Ni、Ag、Sn等單質(zhì)金屬,已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體電子元器件,如:陶瓷基板、陶瓷電容、LED陶瓷支架等。