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2023-06
裝飾性薄膜的顏色
薄膜本身會對入射光選擇性地反射或吸收，其顏色是薄膜光學(xué)特性作用的結(jié)果。薄膜的顏色是由反射光產(chǎn)生的，因此需要考慮兩方面，即非透明薄膜材料對于可見光光譜的吸收特性而產(chǎn)生的本征顏色，以及透明或輕微吸收薄膜材料的多重反射而產(chǎn)生的干涉顏色。
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2023-06
離子束輔助沉積及低能離子源
1、離子束輔助沉積 ，主要采用低能離子束，對材料表面改性時發(fā)揮助力作用。
（1）離子輔助沉積的特點
在鍍膜過程中一邊鍍膜，一邊用荷能離子束照射沉積的膜層粒子在基材表面不斷受到來自離子源的荷能離子的轟擊。
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2023-06
射頻放電的利用
有利于濺射鍍絕緣膜。電極極性的迅速變化可用于直接濺射絕緣靶材獲得絕緣膜。如果采用直流電源濺射沉積絕緣膜時，絕緣膜會阻擋正離子進入陰極，形成正離子堆積層，易造成擊穿打火。
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2023-06
用弧光放電源增強磁控濺射鍍膜
磁控濺射鍍膜在輝光放電中進行，放電的電流密度低，鍍膜室內(nèi)的等離子體密度低，使得磁控濺射技術(shù)有膜-基結(jié)合力低、金屬離化率低、沉積速率低等缺點在磁控濺射鍍膜機中增設(shè)弧光放電裝置，可以利用弧光放電產(chǎn)生的弧光等離子體中的高密度電子流對工件進行清洗，還可以參與鍍膜和進行輔助沉積。
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